電子材料與元件應用研究實驗室

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指導教授與地點	研究方向與課題	研究設備與名稱
指導教授：許正興董心漢陳文序楊百川老師實驗室編號：B1-413	研究方向與課題：本研究實驗室針對各式半導體材料元件、介電材料、壓電材料、熱電材料以及絕緣材料進行製作，以及感測元件製作。 1. 半導體與記憶體元件材料製作 2. 感測元件材料製作 3. 高頻通訊材料製作 4. 高壓礙子用絕緣材料製作 5. 能源材料開發製作(熱電材料、壓電材料、太陽能電池材料)	研究設備與名稱： 1. 蒸鍍系統1台 2. 射頻磁控濺鍍系統2台 3. 高溫爐2台 4. 真空爐管2台 5. 蝕刻機1台 6. 旋鍍機1台 7. 排煙櫃1台 8. 網印機1台 9. 烘箱1台 10. 球磨機2台 11. 壓模機1台

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