電子材料與元件應用研究實驗室
Electronic Materials and Components Research Lab.
一、指導教授:許正興老師、楊百川老師
二、實驗室編號:B1-413
三、研究方向與課題:本研究實驗室針對各式半導體材料元件、介電材料、壓電材料、熱電材料以及絕緣材料進行製作,以及感測元件製作。
1. 半導體與記憶體元件材料製作
2. 感測元件材料製作
3. 高頻通訊材料製作
4. 高壓礙子用絕緣材料製作
5. 能源材料開發製作(熱電材料、壓電材料、太陽能電池材料)
四、研究設備與名稱:
1. 蒸鍍系統1台
2. 射頻磁控濺鍍系統2台
3. 高溫爐2台
4. 真空爐管2台
5. 蝕刻機1台
6. 旋鍍機1台
7. 排煙櫃1台
8. 網印機1台
9. 烘箱1台
10. 球磨機2台
11. 壓模機1台
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